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激光化学气相沉积快速生长高取向TiNx薄膜的研究

公衍生 , 涂溶 , 後藤孝

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00391

采用激光化学气相沉积(LCVD)技术在氧化铝衬底上制备了高取向的TiNx薄膜,重点研究了激光功率(PL)、衬底预热温度(Tpre)和沉积总压力(Ptot)对薄膜取向和沉积速率的影响,采用X射线衍射(XRD)、俄歇能谱(AES)和场发射扫描电镜(FESEM)对薄膜组成和结构进行了表征.结果表明:所得到的TiNx薄膜成分均匀,其取向与衬底预热温度有关,随着预热温度的升高,TiNx薄膜的取向由(111)变为(200),薄膜的取向与其微观结构一致.TiNx薄膜的沉积速率随着激光功率升高而增大,在PL=100W时,达到最大值90μm/h(沉积面积为300mm2),显著高于采用其它方法制备的TiNx薄膜.

关键词: TiNx薄膜 , highspeed deposition , orientation , laser chemical vapor deposition (LCVD)

高锰TRIP/TWIP钢压缩过程晶体学行为的EBSD分析 I. 相变特点、孪生及奥氏体取向的影响

杨平鲁法云孟利崔凤娥

金属学报 doi:10.3724/SP.J.1037.2009.00829

本文利用EBSD技术研究了高锰钢压缩形变过程中γ→ε→α'马氏体相变的晶体学特点, 分析了奥氏体孪生与奥氏体晶粒取向对相变的影响. 结果表明, 由于α'马氏体在2个ε变体的交叉处形成, 而ε相变区域普遍存在奥氏体形变孪晶并且ε可在孪晶界上形成, 因此孪生对相变起着重要的作用; 而孪生的难易受奥氏体取向的影响. 分析认为, 低指数的{100}, {111}和{110}奥氏体内因多变体同时孪生而比高指数取向容易促进ε变体间的交叉从而促进α'的形成; 形变使ε变体数目或新取向增多, 但小尺寸的ε难以促进$\alpha'$的形成.

关键词: 高锰钢 , EBSD , TRIP/TWIP , martensitic transformation , orientation

单向C/C复合材料基体中间相在磁场中的取向

周少荣 , 白世鸿 , 乔生儒 , 孙晓燕

无机材料学报

本工作利用扫描电镜、X射线衍射仪及正交偏光显微镜研究了沥青中间相以及单向C/C复合材料基体中间相在800mT磁场中处理后的取向,证实了沥青中间相的层片平行于磁场方向;在本工艺条件下,制造的单向C/C复合材料基体中间相层片垂直于碳纤维.

关键词: 强磁场 , C/C composites , mesophase pitch , orientation , SEM

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